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| C对多弧离子镀TiCN系超硬薄膜性能的影响 | |
| 作者姓名： | 张德元 彭文屹 邓鸣 许兰萍 杨春燕 罗文 |
| 作者单位： | 江西省科学院应用物理研究所!江西南昌，330029，江西省科学院应用物理研究所!江西南昌，330029，江西省科学院应用物理研究所!江西南昌，330029，江西省科学院应用物理研究所!江西南昌，330029，江西省科学院应用物理研究所!江西南昌，330029，江西省科学院应用物理研究所!江西南昌，3300 |
| 摘 要： | 就C对TiCN系膜层的硬度、耐磨性、与Fe基材料的摩擦系数和粘附倾向的影响进行了试验研究。借助于SEM、AES、XRD、WDS等手段，对C在TiCN系膜层中的行为、作用进行了初步探讨。 |
| 关 键 词： | 离子镀 TiCN 性能 |
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