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| 基于SOI光波导的损耗测试与优化 | |
| 作者姓名： | 崔丹凤 谢成峰 晋玉剑 刘耀英 李艳娜 韦丽萍 王永华 刘俊 薛晨阳 |
| 作者单位： | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学电子测试技术重点实验室; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金重点支持资助项目(No.91123036);国家自然科学基金杰出青年基金资助项目(No.51225504) |
| 摘 要： | 利用电子束光刻技术,制备了带有氧化硅包层的SOI光波导结构,对其传输模态及损耗进行了详细的理论分析,并分别对波导的传输损耗和耦合损耗进行了测试.测试结果验证了单模传输模态时的传输损耗较低,在波导层上添加覆盖层可以将波导传输损耗降低至3.96dB/cm,利用光栅垂直耦合可以大大降低光纤-波导的耦合损耗,耦合效率可以达到32.7%. |
| 关 键 词： | 光波导 传输损耗 弯曲损耗 光栅 垂直耦合 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |