石英传感器刻蚀工艺研究

化学刻蚀是石英传感器制造中常用的工艺方法。化学刻蚀必须解决腐蚀液和保护膜两大问题，腐蚀液浓度，温度，石英材料的质量，抛光质量等对传感器表质量，尺寸精度，性能有影响。