| 一种微透镜--针孔阵列合成器件的制作方法 |
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| 引用本文： | 孔兵,王昭,党开放,谭玉山. 一种微透镜--针孔阵列合成器件的制作方法[J]. 仪器仪表学报, 2002, 23(3): 271-272,277 |
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| 作者姓名： | 孔兵 王昭 党开放 谭玉山 |
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| 作者单位： | 西安交通大学激光与红外研究所,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (60 0 770 31 )，西安交大“行动计划”[2 0 0 0 ] 0 0 0 0 0 63基金资助项目 |
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| 摘 要： | 微透镜阵列与针孔阵列的组合光学器件是全场共焦检测中的一个关键器件，微透镜中心与针孔中心要求严格对准，相应的装配对准精度应控制在几微米之内，本文给出了一种可进行5自由度高精度调节，并利用光学显微镜进行实时监测的对准方法。
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| 关 键 词： | 制作方法 共焦测量 显微镜 5自由度调节 微透镜阵列 针孔阵列 组合光学器件 |
A Fabrication Method for Micro-optics Component |
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| Kong Bing Wang Zhao DangKaifang Tan Yushan. A Fabrication Method for Micro-optics Component[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2002, 23(3): 271-272,277 |
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| Authors: | Kong Bing Wang Zhao DangKaifang Tan Yushan |
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| Abstract: | Micro optics component is an important part of the multiple beam confocal system which is popularly studied these days It is composed of microlens array and pinhole array,and these two separate components are both high precision parts,hence aligning them is the key technology of the micro optics device In this paper,an aligning method for micro optics component is inferred A vernier device with 5 free degree and a microscope with CCD equipment are used to fabricate the micro optics component,and experiment result shows it is available and efficient technique |
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| Keywords: | Micro optics component Confocal system Microscope 5 free degree |
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