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| 数显匀胶机 | |
| 引用本文： | 徐正宝,陈廷美,钟雪珍.数显匀胶机[J].制造业自动化,1983(3). |
| 作者姓名： | 徐正宝 陈廷美 钟雪珍 |
| 作者单位： | 机械工业部北京机械工业自动化所，机械工业部北京机械工业自动化所，机械工业部北京机械工业自动化所 |
| 摘 要： | 在半导体器件制造中,匀胶对制版或光刻工艺是一项很重要的工作。图形的清晰度、线条过渡区大小、胶的粘度及胶的均匀性能都与离心转速和时间有密切的关系。因此选择一个最佳转速和合适的时间是操作者最关心的问题。我们设计制造这台数显匀胶 |
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