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MOS集成电路生产过程中防静电的讨论

作者姓名：	潘广问

作者单位：	襄樊大学物理教研室

摘要：	本文介绍了ＭＯＳ集成电路的静电击穿机理，提出了在ＭＯＳ集成电路生产过程中的一些防静电措施。
关键词：	静电击穿防静电 MOS集成电路
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