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| O(~3P)原子和硅烷化学反应动力学研究 | |
| 作者姓名： | 陈从香 高义德 朱梦霞 孔繁敖 S.Koda |
| 作者单位： | 中国科学技术大学近代化学系(陈从香，高义德，朱梦霞，孔繁敖)，日本东京大学工学部反应化学系(S.Koda) |
| 摘 要： | 众所周知,硅烷是半导体工业的重要原料,在O_2或空气中的燃烧和SiO_x形成是重要的研究课题。但与之相关的基元反应O(~3P)+SiH_4的动力学则研究得很少。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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