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氮化镓HEMT器件辐射效应综述
引用本文:吕航航,曹艳荣,马毛旦,张龙涛,任晨,王志恒,吕玲,郑雪峰,马晓华. 氮化镓HEMT器件辐射效应综述[J]. 太赫兹科学与电子信息学报, 2022, 20(6): 535-542
作者姓名:吕航航  曹艳荣  马毛旦  张龙涛  任晨  王志恒  吕玲  郑雪峰  马晓华
作者单位:1.a西安电子科技大学,机电工程学院,陕西 西安 710071;2.b西安电子科技大学,宽带隙半导体技术国家重点学科实验室,陕西 西安 710071
基金项目:北京智芯微电子科技有限公司实验室开放基金项目;国家自然科学基金资助项目(11690042;U1866212;12035019;61727804; 11690040);
摘    要:在高频、大功率、高温、高压等领域,氮化镓高电子迁移率晶体管(HEMT)器件因其优异的耐辐射性能而被广泛地应用于卫星、太空探测、核反应堆等领域。尽管从理论和一些试验研究中可以得知,氮化镓材料具有良好的耐辐射特性,但在实际应用中,因其制作工艺及结构等因素的影响,氮化镓HEMT器件的耐辐射特性受到了很大的影响和挑战。本文介绍了氮化镓HEMT器件几种辐射效应,并对氮化镓HEMT器件辐射的研究进行了综述。

关 键 词:氮化镓HEMT器件  γ射线辐射  质子辐射  中子辐射  电子辐射
收稿时间:2022-01-07
修稿时间:2022-03-17

Review of radiation effects on GaN HEMT devices
LYU Hanghang,CAO Yanrong,MA Maodan,ZHANG Longtao,REN Chen,WANG Zhiheng,LYU Ling,ZHENG Xuefeng,MA Xiaohua. Review of radiation effects on GaN HEMT devices[J]. Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology, 2022, 20(6): 535-542
Authors:LYU Hanghang  CAO Yanrong  MA Maodan  ZHANG Longtao  REN Chen  WANG Zhiheng  LYU Ling  ZHENG Xuefeng  MA Xiaohua
Abstract:GaN High Electron Mobility Transistor(HEMT) devices have superior advantages in high-frequency, high-power, high-temperature and high-pressure applications, and due to the excellent radiation resistance characteristics of gallium nitride materials, the devices are useful in radiation environments such as satellites, space exploration, and nuclear reactors. Although the theory and some existing experimental results have shown that GaN materials have excellent radiation resistance properties, in actual situations, the radiation resistance properties of GaN HEMT devices are greatly affected and challenged due to the influence of the device manufacturing process and structure. The major radiation effects of GaN HEMT devices are discussed, and the radiation research of GaN HEMT devices is reviewed.
Keywords:GaN HEMT devices  Gamma irradiation  proton irradiation  neutron irradiation  electron irradiation
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