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| 太赫兹带阻滤波器工艺研究 | |
| 引用本文： | 王亮,邹睿智,张娜. 太赫兹带阻滤波器工艺研究[J]. 太赫兹科学与电子信息学报, 2022, 20(6): 570-574 |
| 作者姓名： | 王亮 邹睿智 张娜 |
| 作者单位： | 1.合肥工业大学 光电技术研究院，安徽 合肥 230009;2.特种显示技术国家工程实验室，安徽 合肥 230009 |
| 摘 要： | 以中心工作频率130 GHz、衰减深度为-40 dB的太赫兹带阻滤波器为制备对象，介绍了其在制备过程中蒸镀、光刻、显影及湿法刻蚀等工艺步骤中的一些技术细节。制备得到的太赫兹滤波器加工误差<±3 μm，考察了加工误差对滤波器传输性能的影响，该加工误差在可接受范围。为进一步验证工艺的可靠性，使用空间测量装置获得了滤波器样品传输性能，测试结果与设计值吻合度较好。最后，探讨了本工艺推广至更高频率器件的适用性及需要改进之处。文中介绍的硅基太赫兹器件加工工艺适用于电子器件与光子器件的融合发展。 |
| 关 键 词： | 太赫兹 滤波器 工艺 传输性能 加工误差 |
| 收稿时间： | 2021-04-30 |
| 修稿时间： | 2021-06-10 |
Investigation on fabrication technology of terahertz bandstop filter |
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| WANG Liang,ZOU Ruizhi,ZHANG Na. Investigation on fabrication technology of terahertz bandstop filter[J]. Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology, 2022, 20(6): 570-574 | |
| Authors: | WANG Liang ZOU Ruizhi ZHANG Na |
| Abstract: | |
| Keywords: | terahertz filter fabrication technology transmission characteristics process error |
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