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钉基厚膜电阻中钽钌酸铅颗粒尺寸效应的研究
作者姓名:巨新  杨建红  施朝淑  唐孝威
作者单位:中国科学技术大学,华东微电子究研所,中国科学技术大学,中国科学技术大学 合肥 230026,合肥 230031,合肥 230026,合肥 230026
摘    要:本文研究了钌基厚膜电阻导电相图钌酸铅(Pb_2(Ta_x,Ru_(2-x))O_σ+σ)(δ=0.1)颗粒尺寸对其阻值和电阻温度系数(TCR)的影响。发现适当控制颗粒度大小,可获得具有稳定阻值和TCR的厚膜电阻。

关 键 词:钌基厚膜电阻  导电相  电阻温度系数
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