钉基厚膜电阻中钽钌酸铅颗粒尺寸效应的研究 |
| |
作者姓名: | 巨新 杨建红 施朝淑 唐孝威 |
| |
作者单位: | 中国科学技术大学,华东微电子究研所,中国科学技术大学,中国科学技术大学 合肥 230026,合肥 230031,合肥 230026,合肥 230026 |
| |
摘 要: | 本文研究了钌基厚膜电阻导电相图钌酸铅(Pb_2(Ta_x,Ru_(2-x))O_σ+σ)(δ=0.1)颗粒尺寸对其阻值和电阻温度系数(TCR)的影响。发现适当控制颗粒度大小,可获得具有稳定阻值和TCR的厚膜电阻。
|
关 键 词: | 钌基厚膜电阻 导电相 电阻温度系数 |
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|