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| 对ZGK-50型自动对准投影光刻机自动对准系统电气最佳状态的讨论 | |
| 作者姓名： | 许安民 刘林生 |
| 摘 要： | 河北半导体研究所与清华大学联合研制了我国第一台自动对准投影光刻机—ZGK-50型.其自动对准精度为±0.25μm,套刻精度为±1μm,这是对我国半导体工业的一个贡献.本文仅对ZGK-50的自动对准系统电气部分中两个重要问题作了比较深入的分析.其一是如何取出一个稳定的,并能灵敏地反应工作台位置的最佳对准信号,其二是利用功能化简法将逻辑控制电路化简到最简式. |
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