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| 金刚线切割多晶硅片表面减反射绒面的制备 | |
| 引用本文： | 刘友博,李利凯,汪雷,杨德仁.金刚线切割多晶硅片表面减反射绒面的制备[J].材料科学与工程学报,2019,37(6). |
| 作者姓名： | 刘友博 李利凯 汪雷 杨德仁 |
| 作者单位： | 浙江大学材料科学与工程学院,硅材料国家重点实验室,浙江 杭州 310027 |
| 基金项目： | 浙江省重点研发计划资助项目;国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金;中央高校基本科研业务费专项 |
| 摘 要： | 为解决金刚线切割多晶硅片表面制绒的问题,提出了一种创新的两步腐蚀制备硅表面陷光结构的方法。先以浓硫酸作为添加剂去除表面线痕,然后通过酸雾腐蚀法获得一种微米纳米复合的多孔陷光结构。样品在300～1100nm波长范围内的平均光反射率被降至8.6%,减反射效果优良,少子寿命提升0.6μs以上。此方法具有操作简单,无需复杂设备,成本低等优点,易实现工业化生产。 |
| 关 键 词： | 金刚线切割多晶硅片 减反射 线痕 酸雾腐蚀 |
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