宽谱增透双层TiO2-SiO2/SiO2薄膜的制备与性能 |
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引用本文: | 马立云,汤永康,鲍田,金良茂,甘治平,李刚.宽谱增透双层TiO2-SiO2/SiO2薄膜的制备与性能[J].材料导报,2019,33(z2). |
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作者姓名: | 马立云 汤永康 鲍田 金良茂 甘治平 李刚 |
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作者单位: | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司,浮法玻璃新技术国家重点实验室,蚌埠233000 |
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基金项目: | 国家科技重大专项;安徽省重点研究与开发计划项目 |
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摘 要: | 采用溶胶-凝胶法制备了双层TiO_2-SiO_2/SiO_2薄膜,调控了底层薄膜的折射率及双层薄膜不同的厚度匹配,研究了在不同厚度匹配下薄膜的光学性能。通过场发射扫描电子显微镜、椭偏仪、紫外-可见-红外分光光度计研究了薄膜的微观结构、厚度、折射率和光学透过率。研究表明:以TiO_2与SiO_2混合溶胶镀膜获得了折射率可调(1.5~2.0)的薄膜,在TiO_2-SiO_2层与SiO_2层的厚度分别约为160 nm、90 nm时获得了光学性能较优的薄膜,薄膜在光学宽谱380~1 100 nm范围内表现出明显的增透效果,可见光最高透过率可达97.5%,宽谱平均透过率为93.9%。
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关 键 词: | 宽谱增透 TiO2-SiO2/SiO2双层薄膜 折射率厚度调控 |
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