| 常温氦离子注入纳米钛膜的微结构分析 |
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| 引用本文： | 郑思孝,罗顺忠,刘仲阳,龙兴贵,王培禄,彭述明,廖小东,刘宁. 常温氦离子注入纳米钛膜的微结构分析[J]. 原子能科学技术, 2002, 36(4): 388-392 |
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| 作者姓名： | 郑思孝 罗顺忠 刘仲阳 龙兴贵 王培禄 彭述明 廖小东 刘宁 |
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| 作者单位： | 1. 四川大学,原子核科学技术研究所,辐射物理及技术教育部重点实验室,四川,成都,610064
2. 中国工程物理研究院,核物理与化学研究所,四川,绵阳,621900 |
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| 摘 要： | 在常温下,用200、100 keV He离子按He-Ti原子浓度比0.1、0.3和0.2的剂量注入纳米钛膜,采用现代表面分析技术对试样进行形貌观察与微观分析.测试分析结果表明注入前,沉积膜的原子力显微镜(AFM)形貌像呈现从几十至200 nm以上极不均匀的晶粒尺度;注入后,3个试样的晶粒均有所长大,且随着注入剂量的增加,其长大趋势更为明显.这些长大的晶粒中同时存在大量的亚结构,表明在高剂量氦离子注入下,导致出现表层晶粒细化现象;He离子注入后的试样在衍射角15°～40°之间出现可辨的衍射峰,其膜层内的平均晶粒尺寸约136 nm,说明经离子注入后,膜层内纳米粒子的结晶度得到进一步提高,晶粒度比注入前长大.此结果证实了AFM B微米级视场的观察.
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| 关 键 词： | 氦离子注入 纳米钛膜 微结构分析 表面分析 贮氢材料 |
| 文章编号： | 1000-6931(2002)04/05-0388-05 |
| 修稿时间： | 2001-08-25 |
Microstructure Analysis of Helium Implantation on Nanometer Titanium Film at Room Temperature |
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