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氧化锡气体传感器及其应用
作者姓名:夏建弘
作者单位:清华大学
摘    要:SnO_2气体传感器是众多半导体气体传感器中的一种,随其制造工艺的不同,可用来检测甲烷、一氧化碳等各种气体。SnO_2气体传感器灵敏度高,使用电路简单,使用寿命长。本文从工作原理、结构及制造工艺、工作特性、应用和电路几方面对其进行了介绍。

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