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| 射频磁控溅射制备纳米PLT薄膜的研究 | |
| 引用本文： | 李晖,庄志诚.射频磁控溅射制备纳米PLT薄膜的研究[J].无机材料学报,1994,9(3):371-374. |
| 作者姓名： | 李晖 庄志诚 |
| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所，上海交通大学理化中心 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 纳米 PLT薄膜 铁电体 射频磁控溅射 |
Preparation of Nanocrystalline PLT Thin Films by RF Magnetron Sputtering |
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| Li Hui, Luo weigen, Chem Xiantong, Ding Aili.Preparation of Nanocrystalline PLT Thin Films by RF Magnetron Sputtering[J].Journal of Inorganic Materials,1994,9(3):371-374. | |
| Authors: | Li Hui Luo weigen Chem Xiantong Ding Aili |
| Abstract: | |
| Keywords: | nanocrystalline material PLZT thin film RF magnetron sputtering |
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