| 基于MEMS技术的复合型智能传感器设计 |
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| 引用本文： | 曲国福,刘宏昭.基于MEMS技术的复合型智能传感器设计[J].传感器与微系统,2006,25(3):86-88. |
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| 作者姓名： | 曲国福 刘宏昭 |
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| 作者单位： | 西安理工大学,机仪学院,陕西,西安,710048 |
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| 摘 要： | 把微机电系统(MEMS)技术的加速度敏感元件和微处理器有机结合,借助智能算法,设计了一种多功能的复合传感器,可同时测量运动物体的的振动、冲击和倾斜角度。试验表明:该传感器能够足够同时精确地检测运动物体的振动、冲击和倾斜角度信息,用于汽车中时,能够及时检测汽车的动态信息与车体的姿态。
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| 关 键 词： | 微机电系统 加速度 振动 倾角 |
| 文章编号： | 1000-9787（2006）03-0086-03 |
| 收稿时间： | 2005-06-24 |
| 修稿时间： | 2005年6月24日 |
Design of compound and intelligent sensor based on MEMS technology |
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| QU Guo-fu,LIU Hong-zhao.Design of compound and intelligent sensor based on MEMS technology[J].Transducer and Microsystem Technology,2006,25(3):86-88. |
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| Authors: | QU Guo-fu LIU Hong-zhao |
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| Abstract: | Integrating acceleration sensing unit applying MEMS technique with micro control unit(MCU),a multi-purpose compound sensor is designed with the help of intelligent algorithem,it can measure the vibration,shock and the tilt angle of mobile at the same time.Experiment results show the sensors can detect these informations of mobile in sufficient precision.As for the dynamic information and attitude of mobile can be immediately detected when it is used in automobiles. |
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| Keywords: | microelectronmechanical system(MEMS) acceleration vibration tilt angle |
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