|
|||||
|
|
| 一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现 | |
| 引用本文： | 李倩,赵瑞华,吕苗,胡小东.一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现[J].中国机械工程,2005,16(Z1):231-232. |
| 作者姓名： | 李倩 赵瑞华 吕苗 胡小东 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 |
| 摘 要： | 采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进行了投片,经测试,获得的滤波器的测试结果与仿真结果比较接近. |
| 关 键 词： | 射频微电子机械系统 微机械加工 微封装 滤波器 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0231-02 |
| 修稿时间： | 2005年3月24日 |
Design and Realization of a Low Loss X-Band RF MEMS Bandpass Filter |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |