| 适用于MEMS动态测量的显微激光多普勒技术 |
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| 引用本文： | 傅星 刘昀强 胡晓东 栗大超 胡小唐. 适用于MEMS动态测量的显微激光多普勒技术[J]. 光电子．激光, 2004, 15(11): 1357-1360 |
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| 作者姓名： | 傅星 刘昀强 胡晓东 栗大超 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60372006) |
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| 摘 要： | 介绍了一种利用激光多普勒(LD)技术和显微技术结合的微机电系统(MEMS)器件动态特性测量技术，所搭建的系统测量光斑直径小于1um，测量频率0～20MHz，平面外运动分辨率0．1nm，精度5nm，不确定度1nm描述了利用该系统对TMT(test motion target)器件的振动特性进行的测量实验，并对实验结果进行了分析，测得器件的共振频率为271Hz，最大振幅为0．246482566mm。
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 显微 激光多普勒(LD) 动态 测量 |
| 文章编号： | 1005-0086(2004)11-1357-04 |
Micro Laser Doppler Vibrometer Technology for MEMS Dynamic Measurement |
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| FU Xing,LIU Yun-qiang. Micro Laser Doppler Vibrometer Technology for MEMS Dynamic Measurement[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2004, 15(11): 1357-1360 |
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| Authors: | FU Xing LIU Yun-qiang |
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| Affiliation: | FU Xing,LIU Yun-qiang~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-electro-mechaitical systems(MEMS) micrology laser Doppler(LD) dynamic measurement |
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