金属氧化物气敏传感器(Ⅳ) |
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作者姓名: | 徐毓龙 Heila. G |
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作者单位: | 西安电子科技大学电子材料与元器件教研室!西安市710071(徐毓龙),IPhysikalishesInstitutderRWTH!Aachen520056Germany(G.Heiland) |
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摘 要: | 绝大多数金属氧化物气敏传感器的工作原理是基于待测气体的吸附和紧随着的表面反应过程所引起的电导变化.本章简要介绍金属氧化物的表面性质和表面反应过程,作为深入了解其气敏作用机理和改善气敏传感器性能的基础.
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关 键 词: | 气敏传感器 金属氧化物 传感器 |
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