| 基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制 |
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| 引用本文： | 汪祖民,孙红光,韩泾鸿,边超,陈绍凤,夏善红.基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制[J].仪器仪表学报,2006,27(Z2):1065-1066. |
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| 作者姓名： | 汪祖民 孙红光 韩泾鸿 边超 陈绍凤 夏善红 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100080
2. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(90307014) |
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| 摘 要： | 研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC).其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(Polypyrrole,聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/pH的高灵敏度.
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| 关 键 词： | 离子敏场效应管 聚吡咯 敏感膜 集成化芯片系统 |
Development of pH-ISFETs with Ppy sensitive membrane |
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| Wang Zumin,Sun Hongguang,Han Jinghong,Bian Chao,Chen Shaofeng,Xia Shanhong.Development of pH-ISFETs with Ppy sensitive membrane[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2006,27(Z2):1065-1066. |
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| Authors: | Wang Zumin Sun Hongguang Han Jinghong Bian Chao Chen Shaofeng Xia Shanhong |
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