| 利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数 |
| |
| 引用本文： | 袁方园,陆文琪,林国强.利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数[J].真空科学与技术学报,2009,29(5). |
| |
| 作者姓名： | 袁方园 陆文琪 林国强 |
| |
| 作者单位： | 大连理工大学物理与光电工程学院,大连,116024 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863)资助项目 |
| |
| 摘 要： | 本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断.双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏.利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子体放电所固有的强烈波动.探针端部设计能够避免由薄膜沉积造成的探针与支撑杆短路问题.实验结果表明,等离子体密度随着弧电流和气压的增加而增加,而电子温度随着弧电流和气压变化不明显.另外,使用双靶放电等离子体密度和电子温度高于单靶放电.这些结果提供了电弧离子镀等离子体的基本参数,对于材料涂层工艺研究具有积极意义.
|
| 关 键 词： | 朗缪尔双探针 电弧离子镀 等离子体 |
Diagnosis of Arc Ion Plating Plasma by Langmuir Double Probes |
| |
| Yuan Fangyuan,Lu Wenqi,Lin Guoqiang.Diagnosis of Arc Ion Plating Plasma by Langmuir Double Probes[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2009,29(5). |
| |
| Authors: | Yuan Fangyuan Lu Wenqi Lin Guoqiang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
