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新书推荐——薄膜晶体管(TFT)阵列制造技术
摘 要:
本书主要介绍非晶硅(amorphous silicon,a-Si)TFT阵列大规模生产的制造技术,共13章,内容从TFT元件的结构及特点,到TFT的检查与修复,包括TFT阵列制造清洗工艺、成膜工艺、光刻工艺、不尉辑析和检查修复。本书从11可阵列大规模制造的角度,第一次比较全面地介绍了TFT LCD牛产线的TFT阵列制造工艺技术、工艺参数、生产工艺技术管理、工艺材料规格、设备特性、
关 键 词:
TFT阵列
制造技术
薄膜晶体管
silicon
大规模生产
制造工艺技术
工艺技术管理
清洗工艺
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