| 磁控溅射共沉积Al-Pb复合薄膜微观结构及电性能 |
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| 引用本文： | 郭中正,孙勇,段林昆,李玉阁,彭明军. 磁控溅射共沉积Al-Pb复合薄膜微观结构及电性能[J]. 材料导报, 2009, 23(16) |
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| 作者姓名： | 郭中正 孙勇 段林昆 李玉阁 彭明军 |
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| 作者单位： | 昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室,昆明,650093 |
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| 基金项目： | 云南省自然科学基金重点资助项目，云南省自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射共沉积法制备Al-Pb复合薄膜,运用TEM、SEM、EDX和电阻-温度仪对薄膜微观结构和电性能进行研究.结果表明,Al-Pb薄膜具有温度敏感性,电阻温度系数(TCR)可达8.4×10-3℃-1.薄膜微观结构含富Al基体相和富Pb第二相,呈两相组织.随着厚度的增大,第二相粒子及基体相晶粒粒度增大,界面密度降低,界面电子散射效应减弱,电阻率下降,TCR值增大.与Al膜和移去Al基体形成的Pb膜的电性能对比研究显示,Al-Pb薄膜存在并联导电机制,电阻率受两相电阻率和体积分数的影响.
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| 关 键 词： | Al-Pb复合薄膜 磁控共沉积 微观结构 温度敏感性 电阻温度系数 |
Microstructure and Electrical Properties of Al-Pb Composite Thin Films by Magnetron Co-deposition |
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| GUO Zhongzheng,SUN Yong,DUAN Linkun,LI Yuge,PENG Mingjun. Microstructure and Electrical Properties of Al-Pb Composite Thin Films by Magnetron Co-deposition[J]. Materials Review, 2009, 23(16) |
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| Authors: | GUO Zhongzheng SUN Yong DUAN Linkun LI Yuge PENG Mingjun |
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| Affiliation: | GUO Zhongzheng,SUN Yong,DUAN Linkun,LI Yuge,PENG Mingjun(Key Lab of Advanced Materials Yunnan Province of Kunming University of Science , Technology,Kunming 650093) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Al-Pb composite thin films magnetron co-deposition microstructure temperature-sensitive temperature coefficient of resistivity |
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