| 氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序 |
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| 引用本文： | 薛大同. 氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序[J]. 真空科学与技术学报, 2005, 25(Z1): 20-26 |
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| 作者姓名： | 薛大同 |
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| 作者单位： | 兰州空间技术物理研究所,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 本文叙述了对密封器件进行氦质谱检漏仪背压检漏的步骤.在此基础上,从真空技术的基本原理出发,分析给出了测量漏率R与等效标准漏率L的关系式,指出无法得到L的解析表达式以及为避免由R求L时出现双值,L不应超过其极大值点,用数值计算和曲线拟合的方法给出了L极大值点的拟合公式;介绍了GB/T 2423.23规定的查表法和诺模图计算法,指出了其表5中的个别数据错误,给出了不同有效容积V下去除压力后到检测漏率之间的停留时间t2对R的衰减因子曲线簇,提出据此灵活确定最大t2的优点;介绍了GJB128A,GJB360A,GJB548A规定的固定法和灵活法,给出了与固定法所规定的R的拒收极限相对应的L和严酷等级,指出固定法不适合需要高气密等级的场合及不应混淆R与L的界线,给出了与灵活法所规定的L的拒收规范值相对应的严酷等级,指出对于不同V值严酷等级从几十到上千,显得很不规范;介绍了R-L关系曲线法,该方法在V、加压压力PE、加压时间t1以及t2不变的情况下,预先给出R-L关系曲线,检漏操作人员可用此曲线由R反查出L;提出由R求L完全可以由计算机采用优选法快速、可靠搜索出来.
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| 关 键 词： | 密封器件 检漏 氦质谱检漏仪 背压法 漏率计算 程序 |
| 文章编号： | 1672-7126(2005)增-020-07 |
| 修稿时间： | 2004-12-01 |
Standards of Back-Pressurizing Leak Detection and Non-Standardized Numerical Calculation of Leak Rate |
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| Xue Datong. Standards of Back-Pressurizing Leak Detection and Non-Standardized Numerical Calculation of Leak Rate[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2005, 25(Z1): 20-26 |
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| Authors: | Xue Datong |
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| Keywords: | |
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