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| NTT公司开发CMOS的0.2μm电路 | |
| 作者姓名： | 一凡 |
| 摘 要： | 日本电信电话（NTT）公司已研制成为实现下一代LSI的基本技术——一超细W］CMOS电路。在加工技术上，采用可替代紫外线的X线，现用0．ZPm的工艺水平，已使器件做到小型化，速度可提高3倍，电压降低1／2，可用一节干电池工作，能使存储LSI高集成化和微处理器小型化，可开发携带式的电子产品。制作方法：用5OR微细加工，开槽后布线，使用在柏中只附着Al布线材料的薄膜生长技术。另外，在衬底中埋入氧化硅绝缘膜，可减薄衬底厚度NTT公司开发CMOS的0.2μm电路@一凡 |
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