| Al2O3/MgO复合膜层对微通道板性能的影响 |
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| 引用本文： | 张正君,邱祥彪,乔芳建,丛晓庆,李婧雯,任玲,王鹏飞. Al2O3/MgO复合膜层对微通道板性能的影响[J]. 表面技术, 2021, 50(6): 199-205. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.06.021 |
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| 作者姓名： | 张正君 邱祥彪 乔芳建 丛晓庆 李婧雯 任玲 王鹏飞 |
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| 作者单位： | 北方夜视技术股份有限公司,南京 211106 |
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| 摘 要： | 目的 大幅提高微通道板增益,延长寿命.方法 采用原子层沉积技术(ALD)在微通道板(MCP)大长径比(40:1)通道内壁沉积Al2O3/MgO复合膜层材料,对通道内壁二次电子发射层进行增强,改善其二次电子发射特性.通过设计复合膜层结构,采用Al2O3膜层保护易潮解的MgO膜层,提高复合膜层的稳定性.研究MgO膜层沉积工...
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| 关 键 词： | 微通道板(MCP) 氧化镁 氧化铝 封装 复合膜层 原子层沉积(ALD) 高增益 长寿命 |
| 收稿时间： | 2020-07-17 |
| 修稿时间： | 2020-09-07 |
Effect of Al2O3/MgO Composite Layer on the Properties of Microchannel Plate |
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| ZHANG Zheng-jun,QIU Xiang-biao,QIAO Fang-jian,CONG Xiao-qing,LI Jing-wen,REN Ling,WANG Peng-fei. Effect of Al2O3/MgO Composite Layer on the Properties of Microchannel Plate[J]. Surface Technology, 2021, 50(6): 199-205. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.06.021 |
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| Authors: | ZHANG Zheng-jun QIU Xiang-biao QIAO Fang-jian CONG Xiao-qing LI Jing-wen REN Ling WANG Peng-fei |
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| Affiliation: | North Night Vision Tech Corp Ltd., Nanjing 211106, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-channel plate magnesium oxide (MgO) alumina encapsulation composite layer atomic layer deposition high gain long life time |
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