Al_xGa_(1-x)A_s和GaA_s材料的物理参数模型 |
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引用本文: | 曾峥,吴文刚,罗晋生.Al_xGa_(1-x)A_s和GaA_s材料的物理参数模型[J].电子器件,1995(1). |
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作者姓名: | 曾峥 吴文刚 罗晋生 |
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作者单位: | 西安交通大学微电子研究室 |
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摘 要: | 本文较系统和全面地总结了GaA_s和Al_xGa_(1-x)As材料的物理参数模型,包括介电常数、能带参数、载流子迁移率以及复合机制和寿命等,给出了易于应用的数学公式,其中Al_xGa_(1-x)A_s重掺杂能带窄变公式为本文首次推导。这些物理参数模型对于Al_xGa_(1-x)As/GaAs异质结器件的研究有着十分重要的意义。
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