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Al_xGa_(1-x)A_s和GaA_s材料的物理参数模型
引用本文:曾峥,吴文刚,罗晋生.Al_xGa_(1-x)A_s和GaA_s材料的物理参数模型[J].电子器件,1995(1).
作者姓名:曾峥  吴文刚  罗晋生
作者单位:西安交通大学微电子研究室
摘    要:本文较系统和全面地总结了GaA_s和Al_xGa_(1-x)As材料的物理参数模型,包括介电常数、能带参数、载流子迁移率以及复合机制和寿命等,给出了易于应用的数学公式,其中Al_xGa_(1-x)A_s重掺杂能带窄变公式为本文首次推导。这些物理参数模型对于Al_xGa_(1-x)As/GaAs异质结器件的研究有着十分重要的意义。

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