双离子束法淀积类金刚石碳膜的结构特征 |
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作者姓名: | 黄良甫 罗崇泰 刘定权 徐明 杨益民 李守中 王天民 王维洁 刘贵昂 |
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作者单位: | 兰州物理研究所(黄良甫,罗崇泰,刘定权,徐明,杨益民,李守中),兰州大学材料科学系(王天民,王维洁),兰州大学材料科学系(刘贵昂) |
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摘 要: | 用双离子束法在低于50℃的单晶硅、玻璃、钼和不锈钢表面淀积了类金刚石碳膜。考察了多种工况下淀积膜的表面形貌、TED花样和Raman谱,表明这种膜是键参数有变化的由sp~3键和sp~2键混合组成的非晶态碳结构,其表面和内部还随机散布有立方金刚石微晶。本文还结合该膜电阻率和红外吸收谱的测试结果,分析讨论了离子辐照能量、离子密度、工质气体成分和基底材料对膜结构的影响。
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