| S7-400PLC和WinCC在硅片清洗设备中的应用 |
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| 引用本文： | 魏胜登. S7-400PLC和WinCC在硅片清洗设备中的应用[J]. 可编程控制器与工厂自动化(PLC FA), 2009, 0(6): 110-111,96 |
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| 作者姓名： | 魏胜登 |
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| 作者单位： | 深圳国际机场 |
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| 摘 要： | 本文介绍了西门子S7-400PLC和WinCC上位机系统在某硅片清洗设备中的应用,对其使用特点及网络结构进行了详尽的描述。
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| 关 键 词： | Winot S7—400 PLC 伺服控制 ProfiBus 工业以太网 |
Application of S7-400 PLC and WinCC in the Clean Tools for wafters |
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| Wei Shengdeng. Application of S7-400 PLC and WinCC in the Clean Tools for wafters[J]. Programmable controller & Factory Automation(PLC & FA), 2009, 0(6): 110-111,96 |
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| Authors: | Wei Shengdeng |
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| Affiliation: | Wei Shengdeng |
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| Abstract: | This paper introduces the application of Siemens S7-400 PLC and WinCC control software in the wafers cleaning machine, and it make a particular description for the characteristic of the use and the structure of the network. |
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| Keywords: | WinCC S7-400 PLC Sever control ProfiBus Industrial Ethernet |
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