| 衍射微透镜列阵质量评价方法研究 |
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| 引用本文： | 邓启凌,杜春雷,杨泽平. 衍射微透镜列阵质量评价方法研究[J]. 光电工程, 1998, 0(Z1) |
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| 作者姓名： | 邓启凌 杜春雷 杨泽平 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!成都，610209，中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!成都，610209，中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!成都，610209 |
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| 摘 要： | 根据实际工程需要 ,对用于萨克 -哈特曼波前传感器的二元衍射微透镜列阵衍射效率的评价方法进行了研究。导出了制作误差与衍射效率的关系式 ,研究了由测得的制作误差评估衍射效率的方法 ,并建立了一套测量系统。
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| 关 键 词： | 微型透镜 衍射光学元件 衍射效率 质量分析 |
Research on Quality Evaluation Method for Diffractive Microlens Array |
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| Deng Qiling,Du Chunlei,Yang Zeping. Research on Quality Evaluation Method for Diffractive Microlens Array[J]. Opto-Electronic Engineering, 1998, 0(Z1) |
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| Authors: | Deng Qiling Du Chunlei Yang Zeping |
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| Abstract: | The evaluation method for the diffractive efficiency of the binary diffractive microlens array used in Shack- Hartmann wavefront sensor is studied according the project requirements.An expression between the manufacturing error and diffractive efficiency is set up and the method for evaluating diffractive efficiency from the manufacturing error is investigated.A measuring system is constructed. |
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| Keywords: | Micro- lenses Diffractive optical elements Diffractive efficiency Quality analysis |
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