| PSD激光直线度测量仪 |
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| 引用本文： | 丁喜波 景桂艳. PSD激光直线度测量仪[J]. 传感器与微系统, 1997, 16(2): 21-23 |
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| 作者姓名： | 丁喜波 景桂艳 |
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| 作者单位： | 哈尔滨理工大学机械工程一系!哈尔滨，150080 |
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| 摘 要： | 介绍了采用PSD传感器设计的激光直线度测量的工作原理，以及激光器、光靶和计算机系统的设计。
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| 关 键 词： | PSD传感器 直线度误差 激光器 |
Development of PSD Laser Straightness Tester |
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| Ding Xibo,Jing Guiyan,Yang Yuchun,Yuan Jiang. Development of PSD Laser Straightness Tester[J]. Transducer and Microsystem Technology, 1997, 16(2): 21-23 |
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| Authors: | Ding Xibo Jing Guiyan Yang Yuchun Yuan Jiang |
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| Abstract: | A new straightness tester-PSD laser straightness tester is introduced. Its principle, laster structure, ligh target and computer system are.explained. |
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| Keywords: | PSD sensor Straightness error Laser |
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