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超大规模集成电路光互连技术的进展

引用本文：	耿完桢,赵峰,邹立勋,姜玲珍,洪晶.超大规模集成电路光互连技术的进展[J].激光与光电子学进展,1990,27(2):1-6.

作者姓名：	耿完桢赵峰邹立勋姜玲珍洪晶

作者单位：	耿完桢: 赵峰: 邹立勋: 姜玲珍: 洪晶:

摘要：