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| 化学量传感器 | |
| 作者姓名： | 武世香 虞惇 王贵华 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学(武世香，虞惇)，哈尔滨工业大学(王贵华) |
| 摘 要： | 四、pH-ISFET敏感膜制备 如前所述,离子敏器件敏感膜的质量直接影响着器件的响应灵敏度、阈值电压等一系列性能参数及其稳定性。因此,在电学性能合格的场效应管上制作高质量的敏感膜就成了ISFET制作的最关键工序之 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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