| 二氧化钒薄膜的制备和应用研究新进展 |
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| 引用本文： | 杨玚,路远,杨华,徐凯. 二氧化钒薄膜的制备和应用研究新进展[J]. 激光与红外, 2015, 45(8): 875-882 |
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| 作者姓名： | 杨玚 路远 杨华 徐凯 |
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| 作者单位： | 电子工程学院，安徽 合肥 230037；红外与低温等离子体安徽省重点实验室，安徽 合肥 230037 |
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| 基金项目： | 脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金资助项目（No.SKL2013ZR03）资助 |
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| 摘 要： | VO2在68 ℃左右时发生半导体—金属态的固-固相变，且相变前后光学和电学性能发生突变，该特性使VO2薄膜在红外智能窗、电致光开关器件、激光防护材料、自适应隐身材料等领域受到广泛研究。制备VO2薄膜的方法包括磁控溅射法、脉冲激光沉积法、溶胶-凝胶法、金属热蒸发法等，理想的制备参数是当前研究的重点。本文总结了近年来VO2在制备方法和应用发展上的研究现状，对进一步深入研究VO2薄膜的各项性能及应用具有借鉴意义。
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| 关 键 词： | 二氧化钒薄膜；制备方法；应用进展 |
Research progress on preparation and application of vanadium dioxide thin films |
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| YANG Yang,LU Yuan,YANG Hu,XU Kai. Research progress on preparation and application of vanadium dioxide thin films[J]. Laser & Infrared, 2015, 45(8): 875-882 |
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| Authors: | YANG Yang LU Yuan YANG Hu XU Kai |
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