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| 干式真空泵的优化选择 | |
| 引用本文： | 谌乾坤.干式真空泵的优化选择[J].半导体技术,2004,29(6):33-35. |
| 作者姓名： | 谌乾坤 |
| 作者单位： | 普旭真空设备国际贸易(上海)有限公司 |
| 摘 要： | 介绍了半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型. |
| 关 键 词： | 圆裂片 爪 罗茨 螺杆 |
| 文章编号： | 1003-353X(2004)06-0033-03 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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