| 氘子活化分析同时测定硅中硼、碳和氮 |
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| 引用本文： | 何世玉,王荫松,金柏康,华芝芬,赵开华.氘子活化分析同时测定硅中硼、碳和氮[J].核化学与放射化学,1984(4). |
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| 作者姓名： | 何世玉 王荫松 金柏康 华芝芬 赵开华 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海原子核研究所
(何世玉，王荫松，金柏康，华芝芬)，中国科学院上海原子核研究所(赵开华) |
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| 摘 要： | 本文叙述用本所1.2米回旋加速器产生的氘子,利用~(10)B(d,n)~(11)C,~(11)B(d,2n)~(11)C,~(12)C(d,n)~(13)N和~(14)N(d,n)~(15)O核反应,同时测定半导体硅中痕量的硼、碳和氮。样品辐照后,采用惰性气体熔融法作快速放化分离,~(11)C、~(13)N和~(15)O分别吸收在烧碱石棉、液氮冷却的5A分子筛和650℃的Hopcalite试剂上,用γ-γ符合测量装置测量各产核的湮灭γ计数,用相对定量法可同时得到硅中约几十ppb的硼、碳、氮含量。相对标准偏差分别为:C<±50％,B<±20％,N<±50％。 方法简单、快速且灵敏度高,是鉴定硅材料中轻元素含量的一个好方法。
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| 关 键 词： | 氘子活化分析 硼 碳 氮 硅 ~(11)C ~(13)N ~(15)O分离 |
SIMULTANEOUS DETERMINATION OF BORON, CARBON AND NITROGEN IN SILICON BY DEUTERON ACTIVATION ANALYSIS |
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| HE SHIYU WANG YINSONG JIN BAIKANG HUAZHIFEN ZHAO KAIHUA.SIMULTANEOUS DETERMINATION OF BORON, CARBON AND NITROGEN IN SILICON BY DEUTERON ACTIVATION ANALYSIS[J].Journal of Nuclear and Radiochemistry,1984(4). |
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| Authors: | HE SHIYU WANG YINSONG JIN BAIKANG HUAZHIFEN ZHAO KAIHUA |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Deuteron activation analysis Boron Carbon Nitrogen Silicon Separation of 11C 13N and 15O |
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