| 两种压电驱动自吸微泵的研制与性能比较 |
| |
| 引用本文： | 耿照新,崔大付,刘长春. 两种压电驱动自吸微泵的研制与性能比较[J]. 纳米技术与精密工程, 2006, 4(4): 320-325 |
| |
| 作者姓名： | 耿照新 崔大付 刘长春 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100080;中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
| |
| 摘 要： | 微泵是微全分析系统中的重要单元．为解决微泵加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题，研制了两种应用于微流控系统中的压电驱动微泵．一种是将聚二甲基硅氧烷（PDMS）泵膜、单主动阀片和弹性缓冲单元集于一体的微泵，另一种是主动阀片与被动阀相结合的微泵，这两种微泵都适用于气体和液体工作物质，实现自吸，具有结构简单、易于加工及操作方便的特点．讨论了微泵的工作原理、工艺流程、工作性能及结构参数对微泵工作性能的影响，解决了加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题．在电压100V（35 Hz条件下）和零背压的工作条件下，单主动阀微泵的最大液体泵速为5000μL／min，最大背压为5 kPa；主动阀与被动阀相结合微泵的最大液体泵速5410μL／min，最大背压15kPa．后者背压与流速明显比前者的性能要好很多，尤其是背压方面．
|
| 关 键 词： | 压电 微泵 微阀 聚二甲基硅氧烷(PDMS) |
| 文章编号： | 1672-6030（2006）04-0320-06 |
| 收稿时间： | 2006-09-25 |
| 修稿时间： | 2006-09-25 |
Manufacture and Performance Comparison of Two Kinds of Self-Priming Micropump Driven by PZT |
| |
| GENG Zhao-xin,CUI Da-fu,LIU Chang-chun. Manufacture and Performance Comparison of Two Kinds of Self-Priming Micropump Driven by PZT[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2006, 4(4): 320-325 |
| |
| Authors: | GENG Zhao-xin CUI Da-fu LIU Chang-chun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | piezoelectricity(PZT) micropump microvalve polydimethylsiloxane (PDMS) |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
