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多层复合渗镀TiN耐蚀性的研究
引用本文:刘燕萍,徐晋勇,隗晓云,王建忠,高原,徐重.多层复合渗镀TiN耐蚀性的研究[J].中国腐蚀与防护学报,2006,26(4):227-231.
作者姓名:刘燕萍  徐晋勇  隗晓云  王建忠  高原  徐重
作者单位:1. 太原理工大学表面工程研究所,太原,030024
2. 太原理工大学表面工程研究所,太原,030024;桂林电子工业学院,桂林,541004
基金项目:国家自然科学基金,山西省自然科学基金,上海宝钢集团公司资助项目
摘    要:采用双层辉光渗金属技术,在碳钢表面形成具有扩散层和沉积层的TiN复合渗镀层.对复合渗镀、PVD以及复合渗镀 PVD三种工艺制备的TiN层表面形貌、成分及在10%H2SO4和3.5%NaCl溶液中的耐蚀性能进行了对比试验研究.结果表明:复合渗镀 PVD法沉积的TiN薄膜呈较为均匀、致密、细小的组织,Ti和N原子由表层呈梯度向内分布.与PVD法沉积的TiN层不同,是属于冶金扩散结合层,渗镀层厚度可达10 μm以上.在10%H2SO4和3.5%NaCl溶液中,渗镀层的腐蚀速度分别为0.156g/(m2·h)和0.025g/(m2·h),显示出了优异的耐蚀性.

关 键 词:辉光等离子  TiN层  结构  耐蚀性
文章编号:1005-4537(2006)04-0227-05
收稿时间:2005-11-26
修稿时间:2005-11-26

CORROSION PROPERTY OF TiN MULTI- PERMEATED LAYERS
LIU Yanping,XU Jinyong,KUI Xiaoyun,WANG Jianzhong,GAO Yuan,XU Zhong.CORROSION PROPERTY OF TiN MULTI- PERMEATED LAYERS[J].Journal of Chinese Society For Corrosion and Protection,2006,26(4):227-231.
Authors:LIU Yanping  XU Jinyong  KUI Xiaoyun  WANG Jianzhong  GAO Yuan  XU Zhong
Affiliation:1. Taiyuan University of Technology, Research Institute of Surface Engineering, Taiyuan 030024 ; 2. Guilin University of Electronic Technology, Guilin 541004
Abstract:
Keywords:PVD
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