| 四个余弦形悬臂梁支撑的惯性力致动双稳态开关 |
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| 引用本文： | 陈光焱,郑英彬,赵龙,武蕊.四个余弦形悬臂梁支撑的惯性力致动双稳态开关[J].传感技术学报,2006,19(5):2248-2251. |
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| 作者姓名： | 陈光焱 郑英彬 赵龙 武蕊 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900 |
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| 摘 要： | 基于双稳态机构精密定位特性,提出一种惯性力致动双稳态开关方案.该双稳态开关由四个初始形态为余弦形的悬臂梁及其支撑的质量块构成,质量块敏感阈值加速度后跳变到另一稳态,与触点接触实现开关导通.通过有限元法对比分析余弦形和圆弧形双梁机构在实现双稳态功能上的差异.采用湿法腐蚀钼片制作原理样品,其中余弦形双梁机构样品具有双稳态效应和闭合锁定功能.经离心测试,开关闭合阈值加速度为15gn,闭合电阻为2 Ω;冲击实验表明在脉宽12 ms幅度50 gn的半正弦冲击下样品不会闭合;振动实验表明样品可通过三个方向各5 min的量级为0.2gn2/Hz的振动测试而不破坏.
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| 关 键 词： | 惯性力 双稳态 开关 MEMS |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-2248-04 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
An Inertial Force Actuated Bistable Switch Supported by Four Cosine-Shaped Cantilever Beams |
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| CHEN Guangyan,Zheng Yingbin,Zhao Long,Wu Rui.An Inertial Force Actuated Bistable Switch Supported by Four Cosine-Shaped Cantilever Beams[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):2248-2251. |
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| Authors: | CHEN Guangyan Zheng Yingbin Zhao Long Wu Rui |
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| Affiliation: | Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, MianYang 621900, China |
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| Keywords: | MEMS |
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