| 带三维结构的惯性MEMS器件的微细铣削加工 |
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| 引用本文： | 王波,梁迎春,孙雅洲,谭亚明.带三维结构的惯性MEMS器件的微细铣削加工[J].传感技术学报,2006,19(5):1473-1476. |
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| 作者姓名： | 王波 梁迎春 孙雅洲 谭亚明 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 将微细铣削技术应用到了带三维微结构的惯性MEMS器件的加工中.该类惯性MEMS器件由高弹性合金制作,特征尺寸在10μm～200μm,加工精度要求在±1 μm,而且对加工残余应力有较高要求.利用自行研制的三轴联动微小型精密铣床,在研究了微径铣刀的悬伸量、径向切深、每齿进给量等切削参数对切削力影响的基础上,提出了最佳切削参数,成功实现了该器件的加工,并采用微桥法对其弹性模量和残余应力进行了测量.
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| 关 键 词： | 微细铣削 惯性MEMS 弹性模量 残余应力 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1473-04 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Micro Milling of the Inertial Components with 3D structure |
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| Wang Bo,Liang Yingchun,Sun Yazhou,Tan Yaming.Micro Milling of the Inertial Components with 3D structure[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1473-1476. |
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| Authors: | Wang Bo Liang Yingchun Sun Yazhou Tan Yaming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro milling inertial MEMS elastic modulus residual stress |
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