| 用3D动态元胞自动机模型模拟硅的各向异性腐蚀过程 |
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| 引用本文： | 周再发,黄庆安,李伟华,王涓,孙岳明. 用3D动态元胞自动机模型模拟硅的各向异性腐蚀过程[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 289-292 |
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| 作者姓名： | 周再发 黄庆安 李伟华 王涓 孙岳明 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家杰出青年科学基金资助项目(50325519);国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404010) |
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| 摘 要： | 建立了硅各向异性腐蚀的3D动态元胞自动机模型,模拟过程中表层元胞边界条件的确定只与表层元胞有关,简化了表层元胞边界条件的确定过程.此外,腐蚀模拟过程中只需要计算与腐蚀液接触的表面元胞的腐蚀过程,提高了模拟计算的速度.采用不同的掩模图形,模拟了硅的各向异性腐蚀过程,通过对模拟结果的理论分析及将模拟的三维输出结果与已有实验结果进行对比,验证了模型的模拟效果.
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| 关 键 词： | 元胞自动机(CA) 腐蚀模拟 微机电系统 微加工技术 各向异性腐蚀 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0289-04 |
| 修稿时间： | 2005-04-05 |
Simulation of Anisotropic Etching Process of Silicon Using Three Dimensional Dynamic Cellular Automata |
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| Zhou Zaifa,Huang Qingan,Li Weihua,Wang Juan,Sun Yueming. Simulation of Anisotropic Etching Process of Silicon Using Three Dimensional Dynamic Cellular Automata[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 289-292 |
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| Authors: | Zhou Zaifa Huang Qingan Li Weihua Wang Juan Sun Yueming |
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