| 现代军用MEMS惯性传感器技术进展 |
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| 引用本文： | 李红光. 现代军用MEMS惯性传感器技术进展[J]. 传感器与微系统, 2014, 0(8): 4-7 |
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| 作者姓名： | 李红光 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033 |
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| 摘 要： | 现代化军事需求小型惯性传感器。技术已成熟的惯性导航和制导系统包括机械陀螺、环形激光陀螺(RLGs)、光纤陀螺(FOGs)以及半球共振陀螺(HRGs)。现在主要用于军事的还有微机电系统(MEMS)陀螺仪和加速计。采用光子晶体光纤(PCFs)的干涉光纤陀螺(IFOGs),即PC—IFOGs。重点阐述MEMS/集成光(IO)波导惯性传感器技术进展。分析小型陀螺仪和加速计技术发展前景及在未来快速反应,精确打击中的作用。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 惯性传感器 MEMS陀螺 MEMS加速计 MEMS惯性测量仪 小型惯性测量仪 集成光波导陀螺 |
Progress on technologies of MEMS inertial sensors for modern military |
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| LI Hong-guang. Progress on technologies of MEMS inertial sensors for modern military[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2014, 0(8): 4-7 |
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| Authors: | LI Hong-guang |
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| Affiliation: | LI Hong-guang ( Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China) |
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| Abstract: | Miniature inertial sensors are required in modern military. Mature technologies inertial navigation system includes mechanic gyros, ring laser gyros （ RLGs ）, fiber-optic gyros （ FOGs ） and hemispherical resonant gyros （HRGs） . Now some MEMS gyros and accelerometers have been used for military. Interference fiber-optic gyros（IFOGs） using photonic crystal（PC） （PC-IFOGs） is researched. Technical progress of MEMS/integrated optical （IO） waveguide inertial sensors are described emphatically. Prospect of miniature gyros and accelerometers technologies and functions in precise strike for military in the future are analyzed. |
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| Keywords: | micro-electro-mechanical system （ MEMS ） inertial sensor MEMS gyro MEMS accelerometer MEMS inertial measurement units（ MEMS IMU） miniature IMU IO waveguide gyro |
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