| 气敏薄膜表面吸附结合能的宏观测量方法 |
| |
| 引用本文： | 邢建平. 气敏薄膜表面吸附结合能的宏观测量方法[J]. 传感技术学报, 2005, 18(3): 573-575 |
| |
| 作者姓名： | 邢建平 |
| |
| 作者单位： | 山东大学信息科学与工程学院,济南,250100 |
| |
| 基金项目： | 山东省电子发展专项基金 |
| |
| 摘 要： | 在采用溅射方法制备的ZnO、SnO2/CeO2纳米平面气敏薄膜实验基础上,总结了气敏薄膜响应时间和恢复时间τc的宏观测量的特征时间次方规律.显微物理化学特性对研究气敏薄膜是十分必要却难以由微观直接测量获得,我们通过上述实验结果与气敏表面反应和表面吸附理论相结合,间接测量了气敏表面吸附结合能Ea这一微观特性,从而表明可以用宏观测量方法研究气敏薄膜的一些微观特性.
|
| 关 键 词： | 响应时间 吸附结合能 气敏 测量 |
| 文章编号： | 1005-9490（2005）03-0573-03 |
| 收稿时间： | 2005-03-08 |
| 修稿时间： | 2005-03-08 |
Method of Macroscopic Testing Surface Adsorption Energy ofGas Sensing Thin Films |
| |
| X ING J ian??p ing. Method of Macroscopic Testing Surface Adsorption Energy ofGas Sensing Thin Films[J]. Journal of Transduction Technology, 2005, 18(3): 573-575 |
| |
| Authors: | X ING J ian??p ing |
| |
| Affiliation: | S chool of Inf ormat ion S ci ence & Eng ine ering , Sh andong Uni v ersi ty , J inan 250100, Ch ina |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | response time adsorbing energy gas sensor measurment |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《传感技术学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《传感技术学报》下载全文 |
|
