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| 多晶硅生产系统内二氯二氢硅的产生与利用 | |
| 引用本文： | 肖荣晖,赵雄.多晶硅生产系统内二氯二氢硅的产生与利用[J].中国有色冶金,2014(4). |
| 作者姓名： | 肖荣晖 赵雄 |
| 作者单位： | 中国恩菲工程技术有限公司; |
| 摘 要： | 简单介绍了二氯二氢硅的生产方法,以1 000 t多晶硅生产系统为例,计算出还原工序、四氯化硅氢化工序、三氯氢硅合成工序以及整个系统二氯二氢硅的生成量,对多晶硅系统副产二氯二氢硅的利用进行了讨论。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 二氯二氢硅 生产 利用 |
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