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| 单晶硅纳米加工技术在津取得新进展 | |
| 摘 要： | 正天津大学微纳制造实验室自主研制开发的单晶硅纳米加工技术经国际生产工程科学院比对、测量全部达标,并进入国际精密制造技术评审榜单前两名,获得国家自然科学基金"纳米制造的基础研究"重点支持项目的资助。天津大学微纳制造实验室长期从事微纳米加工、复杂形面加工、超精密加工与检测的基础理论研究及新方法的探索,并在国际上首次通过切削技术获得粗 |
| 关 键 词： | 纳米加工 自主研制开发 超精密加工 切削技术 生产工程 微纳米 精密制造技术 基础研究 切削加工 硬脆材料 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |