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| 高频溅射SiO2膜掩蔽GaAs和AlGaAs／GaAs中Zn扩散的研究 | |
| 作者姓名： | 王雷 张培亮 |
| 作者单位： | 清华大学无线电系(王雷，张培亮，刘静)，清华大学无线电系(王志忠) |
| 摘 要： | 本文报导了在GaAs、AlGaAs表面上用高频溅射法制备SiO_2膜的淀积规律,特别对用SiO_2膜掩蔽GaAs、AlGaAs/GaAs中的Zn扩散进行了实验研究,结果证明用高频溅射制备SiO_2膜可以有效地掩蔽GaAs,AlGaAs/GaAs中的Zn扩散。 |
| 关 键 词： | SiO2膜 溅射 GaAs GaAs／GaAs Zn |
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