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| S400型测试系统 | |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | D400系列是为监控半导体器件及集成电路生产工艺而设计的程控参数测试系统。测试通过向被测器件提供程控的电流或电压,并测量相应的电压.电流或电容来实现。 S400使用680XX系列处理器控制基于VME总线的仪器和开关,S400的核心仪器是9110型电压电流源表(VIMS),可以实现电压源、电压表、电流源、电流表、或以上源表功能的任意组合。 |
| 关 键 词： | S400型测试系统 半导体 集成电路 程控参数 |
S400 Testing System |
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