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In气氛退火对Cd0.9Zn0.1Te材料电阻率的影响研究
引用本文:隋淞印,何凯,盛锋锋,华桦.In气氛退火对Cd0.9Zn0.1Te材料电阻率的影响研究[J].半导体光电,2014,35(5):846-849.
作者姓名:隋淞印  何凯  盛锋锋  华桦
作者单位:中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083;中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083;中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083;中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083
摘    要:在不同温度条件下对Cd0.9Zn0.1Te晶片进行In气氛退火热处理,显著提高了Cd0.9Zn0.1Te材料的电阻率。通过实验测量和理论建模计算,得到了1 073、1 023和973K条件下In原子在Cd0.9Zn0.1Te晶片中的扩散系数分别为4.25×10-9 cm2·s-1、9.02×10-10 cm2·s-1和2.17×10-10 cm2·s-1,并且拟合出了1 073~973K范围内扩散系数和温度之间的函数关系表达式D(T)=2.15×exp(-1.9/k0T)及频率因子D0等数据。最后,对实验结果进行了简要的对比和分析解释。

关 键 词:碲锌镉  电阻率  铟扩散  退火  扩散系数
收稿时间:1/3/2014 12:00:00 AM

Effects of In Diffusion Annealing on the Resistivity ofCd0.9Zn0.1Te
Abstract:In-diffusion annealing onCd0.9Zn0.1Te was carried out under different temperatures, the nature of which is a process of diffusion and doping. By using In-diffusion annealing, the resistivity ofCd0.9Zn0.1Te is evidently improved. Through experimental measurement and theoretical modeling computation, it is figured out that the diffusion coefficient of In atom in Cd0.9Zn0.1Te is respectively 4.25×10-9cm2·s-1,9.02×10-10cm2·s-1 and 2.17×10-10cm2·s-1under the temperatures of 1073, 1023 and 973K. Based on this, it is estimated the function between the diffusion coefficient and temperature as and other data such as the frequency factor D0. And also brief comparison and explanations were given on the experimental results.
Keywords:Cd0  9Zn0  1Te    resistivity    In-diffusion    annealing    diffusion coefficient
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