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像素级数字化紫外焦平面读出电路的研究
引用本文:徐斌,袁永刚,李向阳.像素级数字化紫外焦平面读出电路的研究[J].半导体光电,2014,35(5):768-772,806.
作者姓名:徐斌  袁永刚  李向阳
作者单位:中国科学院上海技术物理研究所,上海200083;中国科学院大学,北京100049;中国科学院上海技术物理研究所,上海200083
基金项目:国家自然科学基金项目(61204134)
摘    要:为提高紫外焦平面组件成像质量,提出了可用于紫外焦平面的像素级数字化读出电路结构。针对紫外信号微弱及焦平面探测器像素面积小的特点,设计了基于电容反馈跨阻放大器(Capacitive Trans-Impedance Amplifier,CTIA)结构、模数转换器和锁存器的紫外焦平面像素级模数转换读出电路,并给出了实现像素内模数转换的工作原理。详细讨论了像素内模数转换的实现方法,各模块的设计要求及其具体实现,并基于0.35μm DP4M CMOS工艺设计制造了面阵规模128×128、像素单元面积50μm×50μm的读出电路芯片。电路性能测试与成像实验表明:电路的精度达到1mV以下,有效位数达到11位,实现了紫外焦平面读出电路的低噪声数字化输出。

关 键 词:紫外成像  片上数字化  像素级模数转换  探测器
收稿时间:2014/2/17

Research on Pixel Level Digital Read-out Integrated Circuits for Ultraviolet Focal Plane Arrays
Abstract:
Keywords:ultra-violet imagery    on-chip digitalization    pixel level analog to digital convert    detector
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